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产品详情
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  • 产品型号:CY-EVP170S-1S-A
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
本产品为专为高真空设计的桌面型小型蒸发镀膜仪,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀
详情介绍:

本产品为专为高真空设计的桌面型小型蒸发镀膜仪,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作,出厂经过除气处理,配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空,能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。真空腔体采用上掀盖开启方式,便于取放样,腔体上配置有带挡板的适应观察窗,用于观察镀膜过程,挡板则可以有效防止观察窗被膜料污染。

小型蒸发镀膜仪技术参数:

产品名称

桌面型不锈钢腔体蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVP170S-1S-A

安装条件

1、使用环境温度 25℃±15℃,湿度 55%Rh±10%Rh;

2、设备供电:AC220V,50Hz,必须有良好接地;

3、额定功率:1200w;

4、设备用气:设备腔室内需充注氩气清洗,需客户自备氩气,纯

度 ≥99.99%;

5、摆放工作台尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 50kg 以上;

6、摆放位置要求通风。

技术参数

1、 蒸发源电压:10V

2、 蒸发电流 0~100A 连续可调

3、 配 1 个钨舟、1 个钨丝篮;

4、 不锈钢旋转上置样品台,直径为60mm;

5、 样品与蒸发源的距离为 60~100mm 连续可调;

6、 真空腔体为不锈钢腔体其外径为170mm,内径为160mm,高度为210mm;

7、 配有带挡板的石英观察窗,大小为φ60mm;

8、 真空腔体抽气接口为 KF40;

9、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头,默认配不锈钢微调阀以调节进气量;

10、 显示屏为7英寸彩色触摸屏;

11、 可调节蒸发电流,可设置蒸发安全电流值、安全真空值;

12、 安全保护:过流、真空过低自动切断蒸发电流;

13、 极限真空:5x10-5Pa(搭配分子泵);

14、 真空测量为电阻规真空计,其量程为:1~105Pa

注意事项

1、为充分发挥腔体的真空性能,建议搭配分子泵组使用。

可选配件

厚监测仪

1、膜厚分辨率:0.0136?(铝)

2、膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置, 材料应力,温度和密度

3、测量速度:100ms-1s/次,可设置测量范围:500000?(铝)

4、标准传感器晶体:6MHz

5、适用晶片频率:6MHz 适用晶片尺寸:Φ14mm 安装法兰:CF35

其他配件

1、 钨舟、钨丝篮;

2、 有机蒸发源(含石英舟和钨丝发热源)

3、 CY-CZK103系列高性能分子泵组(含复合真空计,测量范围

10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60系列小型分子泵组(含复合真空计,测量范围10-5Pa~102Pa

VRD-4双极旋片真空泵

4、 KF40真空波纹管;长度可选0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

5、 膜厚仪晶振片;

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